一、污染源
1、人員
盡管已有許多生產(chǎn)工藝日益提高機(jī)械化、自動化程度，盡量減少人員直接進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)，以降低由于人員參與帶入的污染。但截至目前，列為多數(shù)潔凈室污染來源首位的仍然是人。雖然為防止進(jìn)入潔凈室人員散發(fā)過量的污染物以致危害生產(chǎn)環(huán)境而采取了許多措施，但即便如此，仍然存在人體表面上的污染物穿透潔凈服，以及人員呼吸所產(chǎn)生的污染物，擴(kuò)散到潔凈室空氣中污染環(huán)境和產(chǎn)品。
2、毗鄰潔凈室的污染區(qū)域
與潔凈室周邊毗鄰或相通的，較低潔凈度的區(qū)域或非潔凈區(qū)，由于人員、物料的進(jìn)出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內(nèi)潔凈度的另一個(gè)重要污染來源。
合理的正壓差是減少通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙和傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設(shè)在門口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室也有一定作用。但完全避免周邊污染區(qū)域?qū)崈羰噎h(huán)境的干擾與影響也是困難的，特別是潔凈室在外門的附近區(qū)域。因此，工藝關(guān)鍵區(qū)域宜遠(yuǎn)離外門。
3、未經(jīng)過濾的送風(fēng)
在正常情況下，新建、改建潔凈室或是末級過濾器更換后，按規(guī)范進(jìn)行了嚴(yán)格的驗(yàn)收檢測。那么高效過濾器本身、高效過濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應(yīng)被查出并予以處理。此時(shí)，送風(fēng)系統(tǒng)就不存在未經(jīng)過濾而進(jìn)入潔凈室的空氣。值得防范和注意的是，在生產(chǎn)過程中未按操作規(guī)章不慎觸及脆弱的高效過濾器濾芯，或是高效過濾器支撐框架因振動、或是密封膠墊老化、變質(zhì)致使高效過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現(xiàn)裂隙，從而泄漏未經(jīng)過濾的空氣污染潔凈室，也是日常監(jiān)測工作關(guān)注的重點(diǎn)。
4、圍護(hù)結(jié)構(gòu)及其它表面
潔凈室表面存在由于人員的觸摸被污染，或因生產(chǎn)過程中被污染空氣所攜帶塵粒的沉降、附著作用而被污染。特別是在非工作班未設(shè)值班工況時(shí)，因潔凈空調(diào)系統(tǒng)停止運(yùn)行而對周圍環(huán)境無正壓功能，由于擴(kuò)散效應(yīng)侵入室內(nèi)空氣中的污染粒子將沉降、附著到各個(gè)表面上。當(dāng)潔凈室重新正常運(yùn)行與工作時(shí)，未清潔這些表面，那么又將成為潔凈室的又一個(gè)污染源。
5、處于工作狀態(tài)的機(jī)器設(shè)備
多年來，為減少潔凈室人員產(chǎn)生的污染以及提高工作效率和精度的雙重考慮，某些潔凈室采用了更多的機(jī)器設(shè)備、機(jī)械手及其它自動化裝置。實(shí)踐過程中發(fā)現(xiàn)，這樣固然減少了人員的污染因素，從一定程度上改善了潔凈室的狀況。但運(yùn)轉(zhuǎn)中的機(jī)器設(shè)備由于潤滑劑、機(jī)械磨損以及電器自控裝置運(yùn)行中產(chǎn)生的塵粒污染，又成為了受關(guān)注的問題。一些西方工業(yè)國家對潔凈室常見的不同運(yùn)轉(zhuǎn)方式、不同速率、不同材質(zhì)的機(jī)械設(shè)備的典型動作和某些電器的產(chǎn)塵進(jìn)行了相應(yīng)的實(shí)踐研究。對潔凈室的機(jī)械、電器污染源給出了一些塵埃散發(fā)量的可參照數(shù)值，為潔凈室通風(fēng)設(shè)計(jì)提供了計(jì)算依據(jù)。
6、原材料、容器、包裝等
對進(jìn)入潔凈室的設(shè)備、材料以及容器、包裝等的預(yù)清潔、拆包地點(diǎn)和方法，以及進(jìn)入潔凈室的程序等，在潔凈室運(yùn)行管理的相關(guān)規(guī)范中都有明確說明。但仍然完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難于徹底清潔的產(chǎn)品的細(xì)小組件上的污染物被帶入潔凈室。它們構(gòu)成了生產(chǎn)過程中的又一個(gè)重要污染源，而在這一點(diǎn)上往往容易被忽略。出現(xiàn)問題時(shí)，通常把注意力放在尋找空調(diào)凈化系統(tǒng)的缺陷上。其實(shí)不少潔凈室產(chǎn)品部件帶入的微粒是生產(chǎn)出現(xiàn)問題的重要原因。
二、污染風(fēng)險(xiǎn)分析和控制措施圖
當(dāng)掌握和分析了潔凈室的污染源、污染傳播途徑，就可以形象的勾畫出即將投入運(yùn)行的潔凈室的污染風(fēng)險(xiǎn)和控制措施圖。當(dāng)工藝流程復(fù)雜，同時(shí)要控制諸如塵埃粒子、微生物粒子、分子污染物等多種污染物時(shí)，可能需要勾畫出多個(gè)污染風(fēng)險(xiǎn)分析與污染控制圖。
污染在潔凈室的傳播是十分復(fù)雜的。從理論上講，潔凈室內(nèi)的每個(gè)物品都可能被室內(nèi)的其它物品污染，這樣使問題更加復(fù)雜化。然而，實(shí)際上只要考慮主要污染源即可。特別應(yīng)關(guān)注空氣的核心作用，是它容納潔凈室的各類污染物并到處傳播。
下圖是一個(gè)典型潔凈室內(nèi)顆粒污染物的污染源、傳播途徑及控制措施的示意圖：

下圖給出了工藝過程及設(shè)備污染源、傳播途徑及其控制方法的示意圖：