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潔凈室的檢測(cè)--被測(cè)“量”的均勻性
2020-03-23 瀏覽次數(shù)：537
1、均勻性的概念
均勻性是體現(xiàn)不同部位量值不相同程度的量，對(duì)于潔凈室有風(fēng)速均勻性、氣壓均勻性、溫度均勻性、潔凈度均勻性等。
2、均勻性的測(cè)定方法
使用高精確度的測(cè)量?jī)x器，均布測(cè)量點(diǎn)，測(cè)得一系列數(shù)值。測(cè)量次數(shù)盡可能多一點(diǎn)。
3、均勻性的表示
一般用均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差定量的表示均勻性。均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差（
）按下式計(jì)算：
式中，n為測(cè)量次數(shù)
xi為第i次的測(cè)得值，i=1，2，3，…，n
為測(cè)得值的算術(shù)平均值，
（1）算術(shù)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（
）。算術(shù)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差按下式計(jì)算：
（2）均勻性的置信度。如果均勻性的測(cè)得值是正態(tài)分布，則有68%的測(cè)得值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
；同時(shí)，有68%的n次測(cè)得值的平均值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
。
（3）擴(kuò)展均勻性。如果均勻性的測(cè)得值是正態(tài)分布，則有95%的測(cè)得值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
；同時(shí)，有95%的n次測(cè)得值的平均值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
。
如果均勻性的測(cè)得值是正態(tài)分布，則有99%的測(cè)得值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
；同時(shí)，有99%的n次測(cè)得值的平均值與測(cè)量次數(shù)無(wú)窮大時(shí)的平均值的偏差不超過(guò)
。
4、均勻性與重復(fù)性的關(guān)系
測(cè)量均勻性時(shí)，重復(fù)性也包含在其中。所以，測(cè)量均勻性的時(shí)候，希望重復(fù)性的量值可以忽略不計(jì)。如果測(cè)量均勻性時(shí)，重復(fù)性不能忽略不計(jì)，就必須減去重復(fù)性。一般情況如果測(cè)得量的標(biāo)準(zhǔn)偏差為η，均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差（）按下式計(jì)算：
